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光波導光電開關傳聲器的基本原理是傳播在光波導方向光波的振幅和相位隨波導管的尺寸或波導管鄰近區(qū)域條件的變化而變化。根據(jù)這種效應，利用一個傳聲器將聲信號入射，以實現(xiàn)對光波進行強度或相位的調制。這類傳聲器已經分別用傳統(tǒng)的光波導和微機械加工的光波導研制出來，這種光波導硅基微傳聲器系統(tǒng)由振膜片和波導片組成。光纖將光波導耦合進波導片。一個硅基把延伸在兩片金屬層間高5um、長950um的槽型平板波導管連接起來。通過波導管傳遞的光，由硅基收集并耦合進受光纖維。振膜傳來的聲波用來調制槽狀波導的高度，從而引起光波振幅和相位的變化。這種相位調制可由馬赫一澤德干涉儀進行檢測。 和傳統(tǒng)的分立式聚合物傳聲器相比，硅基駐極體傳聲器具有體積小、微機械加工技術及IC平面工藝兼容、適合于集成化器件生產、成本低等優(yōu)點。 |
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